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在半導體行業(yè)中，需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進行全過程生產(chǎn)或部分生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有：各種半導體材料及其器件生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、化合物半導體生產(chǎn)、光電子生產(chǎn)、薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)、微硬盤驅(qū)動器HDD生產(chǎn)、等離子顯示器PDP生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn)、光導纖維生產(chǎn)、印制電路板等。這就說明這個行業(yè)對潔凈室/潔凈車間的需求是相當龐大的。半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)對環(huán)境要求很嚴，其涉及數(shù)百個制造工序，由于其生產(chǎn)技術(shù)的特殊性，為了產(chǎn)品的質(zhì)量及使用壽命，對生產(chǎn)場所的環(huán)境，如溫度、濕度，壓力、通排風量、潔凈度等都有嚴格要求。>>>商務(wù)洽談，點此處，在線咨詢

半導體集成電路芯片生產(chǎn)廠房在工業(yè)建筑中屬潔凈建筑,相對其它工業(yè)建筑它的內(nèi)部裝修設(shè)計難度較大。集成電路芯片生產(chǎn)過程中工藝流程一般會出現(xiàn)多次交叉反復。像芯片生產(chǎn)過程中的光刻、腐蝕、擴散、蒸發(fā)、表面純化等,工藝流程上都會往復交叉頻繁。在設(shè)計上要求空間的潔凈度對各工序均滿足生產(chǎn)要求。對此類車間比較常用的手法是吸取國外的先進經(jīng)驗。像芯片生產(chǎn)工序廠房整個潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈等級均按100級設(shè)計,個別10級區(qū)域只需要用設(shè)備手段解決，不用專門設(shè)置這個潔凈級別的潔凈室。其他工序生產(chǎn)環(huán)境要求隨生產(chǎn)工藝而定，潔凈度的要求也并不是越高越好，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。各中取舍指導項目需求方可以參照CEIDI西遞設(shè)計師的建議綜合。

一般在達到百級的半導體潔凈室平面裝修方案中，設(shè)計師會依然會和千級、萬級、十萬級等潔凈標準一樣依據(jù)人流和物流凈化流向來做精確的平面布局和配套系統(tǒng)設(shè)計：

工作人員的凈化路線為：

入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。

物品的凈化路線為:

入口→原料庫→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫。

工業(yè)潔凈廠房建設(shè)：百級半導體潔凈室設(shè)計裝修技術(shù)要點 CEIDI西遞

按照兩種凈化路線，分別依工藝布局潔凈區(qū)與輔助用房。其他空氣凈化機房、超純水處理站可以安排在同一層，使?jié)崈艨諝狻⒓儍羲ㄟ^技術(shù)管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)。消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機房、配電室、防排煙機房、生活用房、值班室、衛(wèi)生間等都需依據(jù)“建筑設(shè)計防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”的要求設(shè)置布局。

在配套系統(tǒng)技術(shù)層面，以暖通空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能布局來說，平面分區(qū)也要以下列內(nèi)容為參照依據(jù)：

1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。

2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。

3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。

5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。

6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設(shè)計為一個系統(tǒng)。

7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。

8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設(shè)系統(tǒng)，而且應為不回風的直流系統(tǒng)。

半導體車間的建設(shè)涉及的專業(yè)內(nèi)容很多，譬如在各種生產(chǎn)和封裝過程中建立起靜電防護系統(tǒng)也很有必要，像IC封裝生產(chǎn)線對靜電的更為嚴格。為了保證生產(chǎn)線的正常運行，CEID西遞這類潔凈廠房集成服務(wù)商還會對其建設(shè)的潔凈廠房進行防靜電建設(shè)，當中也會涉及很多專用材料的篩選、結(jié)構(gòu)維護工程、暖通工程、特種氣體工程、空壓氣體工程、廢氣工程、電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺、純水工程及廢水處理工程這些配套系統(tǒng)，如何讓這些系統(tǒng)更好的服務(wù)于每個車間，以達到半導體廠房整體既滿足工藝和產(chǎn)能需求，還盡可能地實現(xiàn)節(jié)能減排要求，可以多借鑒CEIDI西遞的建設(shè)經(jīng)驗。

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