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　　根據(jù)中國電子學(xué)會預(yù)測，到2020年，我國無塵室工程行業(yè)市場規(guī)模將由2015年的767.55億元增至1,412.33億元，年均復(fù)合增長率在12.97%左右。行業(yè)市場規(guī)模的持續(xù)擴(kuò)大為行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)提供了巨大的發(fā)展機(jī)遇和廣闊的市場前景，無塵室工程作為半導(dǎo)體和面板行業(yè)的前期投資將維持高景氣度。我們都知道，集成電路工藝成本很高，其主要原因之一就是需要在無塵室中進(jìn)行制造。在制造過程中如果存在微小粒子，會引起微電子元器件和電路缺陷，因此半導(dǎo)體芯片的制造必須在無塵室中進(jìn)行。隨著圖形尺寸的縮小，殺手微粒（影響元器件特性的關(guān)鍵微粒）的尺寸也隨著縮小，越小的圖形尺寸就需要純凈度更高的無塵室。本文我們就電子電力集成電路生產(chǎn)車間為研究對象，探討相關(guān)無塵室建設(shè)的內(nèi)容。集成電路無塵室、芯片生產(chǎn)車間和磁盤制造車間這三大類車間是電子制造業(yè)里需要建設(shè)無塵室的部分。這也是電子生產(chǎn)行業(yè)的特殊寫照。電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為苛刻，必須嚴(yán)格控制微粒/浮塵，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等內(nèi)容做出標(biāo)準(zhǔn)要求，這也就是我們業(yè)內(nèi)常說的工業(yè)無塵室，其目的就是為了電子行業(yè)一些精度高的產(chǎn)品在合適的環(huán)境下進(jìn)行生產(chǎn)，以提高產(chǎn)品的合格率、性能、壽命等 。>>>點(diǎn)擊此處，在線咨詢

　　當(dāng)然，電子廠房也不會專門只設(shè)計裝修一個無塵室，大多是在廠區(qū)新建或者升級改造的形勢下，做整廠的裝修計劃。這里面就有區(qū)分無塵受控潔凈區(qū)和普通區(qū)域。

電子制造廠房凈化工程平面分區(qū)：

1、潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、潔凈輔助區(qū)

3、辦公管理區(qū)

4、設(shè)備區(qū)

      像我們前面說的無塵室就會建設(shè)在潔凈生產(chǎn)區(qū)，在這部分工作區(qū)域內(nèi)，工作人員需要做嚴(yán)格的隔離措施進(jìn)到無塵室空間工作（穿無塵服）。因為在無塵室受控條件內(nèi)生產(chǎn)的電子產(chǎn)品多為高精度的電子元器件，儀器設(shè)備對環(huán)境要求較高，不起眼的微塵都會影響到精密電子產(chǎn)品的質(zhì)量，穿無塵服可以防止人體身上的塵埃進(jìn)入到空氣中，保障無塵車間的清潔度。電子制造無塵室按照工藝要求一般會分千級、萬級或十萬級，譬如末端工藝的LCD制屏無塵車間。背光屏沖壓無塵車間、組裝無塵車間潔凈度一般設(shè)為萬級或十萬級，不需要達(dá)到千級?？偟膩碚f在無塵車間有多種工藝工序時，可以根據(jù)工藝的不同要求，采用不同的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行建設(shè)，很多甲方也是委托CEIDI西遞的設(shè)計團(tuán)隊為其規(guī)劃分區(qū)，以謀求最大的經(jīng)濟(jì)效益。要使電子無塵室潔凈度等級達(dá)到相應(yīng)要求,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等都要按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控，同時對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。以電子萬級無塵室為例，電子制造萬級無塵室相關(guān)技術(shù)指標(biāo)如下：

1、電子制造廠萬級無塵室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)、

2、電子制造廠萬級無塵室溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊無塵車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。

3、電子制造廠無塵室垂直流無塵室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流無塵室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

4、電子制造廠無塵室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

5、電子制造行業(yè)萬級無塵室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值：補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6、根據(jù)熱，濕負(fù)荷計算確定電子廠無塵室的送風(fēng)量，保證供給無塵室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

7、電子制造行業(yè)無塵室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫斷電保護(hù)，若采用點(diǎn)加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。

無論哪種無塵車間都是依據(jù)生產(chǎn)工藝的基礎(chǔ)來做設(shè)計，再結(jié)合甲方的預(yù)算做設(shè)備選型，CEIDI西遞這類潔凈工程EPC總包公司一般會結(jié)合甲方屬意的設(shè)備清單（品牌），做全面評估，綜合工藝、空間等各種因素來確定采用何種凈化方案和凈化設(shè)備選型等內(nèi)容。譬如：要求不高看中初投資低的甲方，可以選用柜機(jī)+FFU。要空氣處理效果最大化、噪音低、廠房面積也比較大且預(yù)算不吃緊的，可以設(shè)計組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口的方案，并按技術(shù)評估后的方案為甲方推薦合理的設(shè)備選型。經(jīng)技術(shù)調(diào)整后的搭配方案不僅為甲方后續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行打好基礎(chǔ)，可能也為甲方節(jié)省下了不必要的開支。

　　電子制造無塵室是工業(yè)無塵室中非常富有技術(shù)性的凈化工程，建設(shè)單位的技術(shù)水平會直接影響整個工程的優(yōu)劣。所以電子制造行業(yè)的凈化工程須謹(jǐn)慎對待，與專業(yè)的潔凈工程EPC集成服務(wù)商合作會是相對保險的良策。

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