無(wú)塵室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛龋瑥亩_(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

一、無(wú)塵室等級(jí)的分類

依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如：10級(jí)在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級(jí)在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。

二、無(wú)塵室等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)

無(wú)塵室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的版本較多，CEIDI西遞小編整理兩個(gè)較常用的劃分標(biāo)準(zhǔn)，分別是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1、中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)GB/T16292-1996，

三、無(wú)塵室凈化工程的處理工藝

1.亂流式(TurbulentFlow)：

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車間內(nèi)的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)為1,000-100,000級(jí)的。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，無(wú)塵室擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵車間等級(jí)。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)要求的潔凈度，需耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

2.層流式(Laminar)：

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)需求較高的環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級(jí)為Class1~100。

其型式可分為二種：

1）.無(wú)塵車間水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變穩(wěn)定。

缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

2）.無(wú)塵車間垂直層流式：房間天花板用ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外并不會(huì)影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

3.復(fù)合式(MixedType)：

復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用，可提供局部超潔凈空氣。

無(wú)塵車間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無(wú)塵車間潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品及半導(dǎo)體均適用。

無(wú)塵車間并裝局部無(wú)塵室(CleanSpot)：將亂流無(wú)塵室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，為生產(chǎn)用。